机译:具有5V兼容两轴PZT驱动的MEMS扫描镜,具有机械杠杆结构,适用于微型LiDAR应用
机译:基于单和双S形PZT执行器的压电驱动MEMS反射镜的二维扫描应用研究
机译:微型内窥镜光学相干断层扫描探头,采用带硅通孔的两轴微机电扫描镜
机译:由单个PZT执行器驱动的两轴MEMS扫描镜
机译:MEMS兼容工艺用于制造纳米结构及其应用
机译:具有5V兼容两轴PZT驱动的MEMS扫描镜具有机械杠杆结构适用于微型LiDAR应用
机译:采用双轴微机电扫描镜具有硅通孔的微型内窥镜光学相干断层扫描探针